高質(zhì)量半絕緣GaN的制備
2008年04月01日 0:0 6313次瀏覽 來源： 中國(guó)有色網(wǎng) 分類： 新技術(shù)
GaN作為寬禁帶半導(dǎo)體材料之一，因其良好的熱穩(wěn)定性、較高的擊穿電壓，在高功率高頻率電子器件方面有較大發(fā)展前途。通常非摻雜GaN因Ga空位和殘余氧表現(xiàn)為n型。摻入某些金屬元素（如鐵）作為深能級(jí)受主，利用補(bǔ)償作用可改善GaN電學(xué)性質(zhì)。
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