韓開發(fā)出高質(zhì)量多層石墨烯
2015年07月30日 9:44 3470次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 新材料前沿 作者： 常麗君
最近，韓國研究人員開發(fā)出一種與微電子兼容的方法來生長石墨烯，在硅基底上成功合成了晶片級（直徑4英寸）的高質(zhì)量多層石墨烯。該方法基于一種離子注入技術(shù)，簡單而且可升級。這一成果使石墨烯離商業(yè)應用更近一步。
晶片級的石墨烯可能是微電子線路中一個必不可少的組成部分，但大部分石墨烯制造方法都與硅微電子器件不兼容，阻礙了石墨烯從潛在材料向?qū)嶋H應用的跨越。
要把石墨烯與先進的硅微電子設備整合在一起，大片的石墨烯不能起皺撕裂，必須能在低溫下沉淀在硅晶片上，而傳統(tǒng)的石墨烯合成技術(shù)要求高溫。研究小組負責人、韓國高麗大學化學與生物工程系教授金智賢說，“我們的研究表明，碳離子注入技術(shù)在直接合成用于集成電路的晶片級石墨烯方面有很大潛力。”
金智賢指出他的方法基于離子注入。這是一種微電子兼容技術(shù)，通常用于半導體摻雜。碳離子在電場中被加速，撞擊到一層由鎳、二氧化硅和硅組成的材料表面上，溫度只有500℃。鎳層碳溶解度很高，作為合成石墨烯的催化劑。然后經(jīng)高溫活化退火形成石墨烯的蜂窩狀晶格。
他們還系統(tǒng)研究了合成過程中各種退火條件的效果，包括改變環(huán)境壓力、周圍氣體和處理時間。
下一步，研究人員打算繼續(xù)降低合成工藝的溫度，控制石墨烯的厚度用于工業(yè)生產(chǎn)。
責任編輯：徐婷
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