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化學(xué)鍍銅/沉銅工藝流程介紹

2008年01月29日 0:0 9309次瀏覽 來源:   分類: 銅資訊

        化學(xué)鍍銅(Eletcroless Plating Copper)通常也叫沉銅或孔化(PTH)是一種自身催化性氧化還原反應(yīng)。首先用活化劑處理,使絕緣基材表面吸附上一層活性的粒子通常用的是金屬鈀粒子(鈀是一種十分昂貴的金屬,價(jià)格高且一直在上升,為降低成本現(xiàn)在國(guó)外有實(shí)用膠體銅工藝在運(yùn)行),銅離子首先在這些活性的金屬鈀粒子上被還原,而這些被還原的金屬銅晶核本身又成為銅離子的催化層,使銅的還原反應(yīng)繼續(xù)在這些新的銅晶核表面上進(jìn)行?;瘜W(xué)鍍銅在我們PCB制造業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,目前最多的是用化學(xué)鍍銅進(jìn)行PCB的孔金屬化。PCB孔金屬化工藝流程如下:
        鉆孔→磨板去毛刺→上板→整孔清潔處理→雙水洗→微蝕化學(xué)粗化→雙水洗→預(yù)浸處理→膠體鈀活化處理→雙水洗→解膠處理(加速)→雙水洗→沉銅→雙水洗→下板→上板→浸酸→一次銅→水洗→下板→烘干
一、鍍前處理
1.去毛刺
    鉆孔后的覆銅泊板, 其孔口部位不可避免的產(chǎn)生一些小的毛刺,這些毛刺如不去除將會(huì)影響金屬化孔的質(zhì)量。最簡(jiǎn)單去毛刺的方法是用200~400號(hào)水砂紙將鉆孔后的銅箔表面磨光。機(jī)械化的去毛刺方法是采用去毛刺機(jī)。去毛刺機(jī)的磨輥是采用含有碳化硅磨料的尼龍刷或氈。一般的去毛刺機(jī)在去除毛刺時(shí),在順著板面移動(dòng)方向有部分毛刺倒向孔口內(nèi)壁,改進(jìn)型的磨板機(jī),具有雙向轉(zhuǎn)動(dòng)帶擺動(dòng)尼龍刷輥,消除了除了這種弊病。
2 整孔清潔處理
    對(duì)多層PCB有整孔要求,目的是除去鉆污及孔微蝕處理。以前多用濃硫酸除鉆污,而現(xiàn)在多用堿性高錳酸鉀處理法,隨后清潔調(diào)整處理。
    孔金屬化時(shí),化學(xué)鍍銅反應(yīng)是在孔壁和整個(gè)銅箔表面上同時(shí)發(fā)生的。如果某些部位不清潔,就會(huì)影響化學(xué)鍍銅層和印制導(dǎo)線銅箔間的結(jié)合強(qiáng)度,所以在化學(xué)鍍銅前必須進(jìn)行基體的清潔處理。最常用的清洗液及操作條件列于表如下:
清洗液及操作條件
        配方
組分 1 2 3
碳酸鈉(g/l) 40~60 — —
磷酸三鈉(g/l) 40~60 — —
OP乳化劑(g/l) 2~3 — —
氫氧化鈉(g/l) — 10~15 —
金屬洗凈劑(g/l) — — 10~15
溫    度(℃) 50 50 40
處理時(shí)間(min) 3 3 3
攪拌方法 空氣攪拌機(jī)械移動(dòng) 空氣攪拌
機(jī)械移動(dòng) 空氣攪拌  機(jī)械移動(dòng)
 
3.覆銅箔粗化處理
    利用化學(xué)微蝕刻法對(duì)銅表面進(jìn)行浸蝕處理(蝕刻深度為2-3微米),使銅表面產(chǎn)生凹凸不平的微觀粗糙帶活性的表面,從而保證化學(xué)鍍銅層和銅箔基體之間有牢固的結(jié)合強(qiáng)度。以往粗化處理主要采用過硫酸鹽或酸性氯化銅水溶液進(jìn)行微蝕粗化處理?,F(xiàn)在大多采用硫酸/雙氧水(H2SO4/H202 )其蝕刻速度比較恒定,粗化效果均勻一致。由于雙氧水易分解,所以在該溶液中應(yīng)加入合適的穩(wěn)定劑,這樣可控制雙氧水的快速分解,提高蝕刻溶液的穩(wěn)定性使成本進(jìn)一步降低。常用微蝕液配方如下:
  硫酸H2SO4        150~200克/升
  雙氧水H202        40~80毫升/升
  
      常用穩(wěn)定劑如下:
  穩(wěn)定劑化合物  添加量  蝕刻銅速率      雙氧水H202分解率
  C2H5NH 2    10g/l     28%        1.4mg/l.min
  n-C4H9NH2    10ml/l    232%         2.7 mg/l.min
  n-C8H17NH2   1 ml/l     314%        1.4mg/l.min
  H2NCH2NH2    10g/l               2.4 mg/l.min
  C2H5CONH2    0.5 g/l    98%           /
  C2H5CONH2   1 g/l     53%           /
  不加穩(wěn)定劑    0      100%        快速分解
    我們以不加穩(wěn)定劑的蝕刻速率 為100%,那么蝕刻速率大于100%的為正性加速穩(wěn)定劑,小于100%的為負(fù)性減速穩(wěn)定劑。對(duì)于正性的加速穩(wěn)定劑不用加熱,在室溫(25度C)條件下就具有較高的蝕刻速度。而負(fù)性減速穩(wěn)定劑,必須加熱使用才能產(chǎn)生微蝕刻銅的效果。應(yīng)注意新開缸的微蝕刻液,開始蝕刻時(shí)速率較慢,可加入4g/l硫酸銅或保留25%的舊溶液。
二、活化
    活化的目的是為了在基材表面上吸附一層催化性的金屬粒子,從而使整個(gè)基材表面順利地進(jìn)行化學(xué)鍍銅反應(yīng)。常用的活化處理方法有敏化—活化法(分步活化法)和膠體溶液活化法(一步活化法)。
1.敏化-活化法(分步活化法)
(1)敏化處理:常用的敏化液是氯化亞錫的水溶液。其典型配方如下:
  氯化亞錫(Sncl2.2H2O)    30~50g/L
  鹽酸             50~100ml/L
  錫?!            ?~5g/l
  配制時(shí)先將水和鹽酸混合,然后加入氯化亞錫邊攪拌使其溶解。錫??煞乐筍n2+氧化。
  敏化處理在室溫下進(jìn)行,處理時(shí)間為3~5min,水洗后進(jìn)行活化處理。
(2)活化處理:常用的離子型活化液是氯化鈀的溶液,其典型配方如下:
  氯化鈀pdCl20.        5~1g/L
  鹽酸             5~10ml/L
  處理?xiàng)l件-室溫,處理1~2min
    敏化-活化法的溶液配制和操作工藝簡(jiǎn)單,在早期的印制板孔金屬化工藝中曾得到廣泛應(yīng)用。這種方法有二個(gè)主要缺點(diǎn):一是孔金屬化的合格率低,在化學(xué)鍍銅后總會(huì)發(fā)現(xiàn)有個(gè)別孔沉不上銅,其主要有二個(gè)方面的原因,其一是Sn+2離子對(duì)環(huán)氧玻璃的基體表面濕潤(rùn)性不是很強(qiáng),其二是Sn+2很易氧化特別是敏化后水洗時(shí)間稍長(zhǎng),Sn+2被氧化為Sn+4,造成失去敏化效果,使孔金屬化后個(gè)別孔沉不上銅。二是化學(xué)鍍銅層和銅箔的結(jié)合力差,其原因是在活化過程中,活化液中貴金屬離子和銅箔間發(fā)生置換反應(yīng),在銅表面上形成一層松散的金屬鈀。如果不去除會(huì)影響沉銅層和銅箔間的結(jié)合強(qiáng)度。在多層連接以及圖形電鍍法工藝中,這種缺陷已經(jīng)成為影響印制板質(zhì)量主要矛盾,現(xiàn)在是用螯合離子鈀分步活化法來解決這些問題.

膠體鈀活化法(一步活化法)
 
(1)配方:常用的膠體鈀活化液配方列于表
膠體鈀活化液配方及操作條件
配方
組份
1
2
氯化鈀     (ml/L)
1
0.25
鹽 酸      (37%)(g/L)
300
10
氯化亞錫   (g/L)
70
3.2
錫酸鈉     (g/L)
7
0.5
氯化鈉     (g/L)
250
尿 素      (g/L)
50
溫 度
室溫
室溫
時(shí) 間      (min)
2~3
2~3
pH
≤0.1
0.7~0.8
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

 

 

  
采用膠體鈀活化液能消除銅箔
 
    上形成的松散催化層,而且膠體鈀活化液具有非常好的活性,明顯地提高了化學(xué)鍍銅層的質(zhì)量,因此,在PCB的孔金屬化工藝中,得到了普遍應(yīng)用。
 
    表中的配方1是酸基膠體鈀,由于其鹽酸含量高,使用時(shí)酸霧大且酸性太強(qiáng)對(duì)黑氧化處理的多層
內(nèi)層連接盤有浸蝕現(xiàn)象,在焊盤處易產(chǎn)生內(nèi)層粉紅圈。活化液中鈀含量較高,溶液費(fèi)用大,所以已很少采用。配方2是鹽基膠體鈀。在鹽基膠體鈀活化液中加入尿素,可以和Sn2+O‖形成穩(wěn)定的絡(luò)合物[H2NCNH3]SC1-3,防止了活化劑產(chǎn)生沉淀,明顯地降低了鹽酸的揮發(fā)和Sn2+離子的氧化,從而提高了膠體鈀活化液的穩(wěn)定性。
  
(2)膠體鈀活化液的配制方法
 
a.酸基膠體鈀活化液—稱取1g氯化鈀溶解于100ml鹽酸和200ml純水的混合液中,并在恒溫水浴中保持30℃,邊攪拌邊加入氯化亞錫(SnCl2•2H2O)2.54g攪拌12min,然后再與事先配制好的氯化亞錫60g、鹽酸200ml和錫酸鈉7g的混合液溶解在一起,再在45℃的恒溫水浴條件下保溫3h,最后用水稀釋至1L即可使用。
 
b.鹽基膠體鈀活化液-稱取氯化鈀0.25g,加入去離子水200ml,鹽酸10ml,在30℃條件下攪拌,使氯化鈀溶解。然后加入3.2g氯化亞錫并適當(dāng)攪拌,迅速倒入事先配制好的含有尿素50g、氯化鈉250g、錫酸鈉0.5g和水800mL的混合溶液中,攪拌使之全部溶解,在45℃條件下保溫3h,冷至室溫,用水稀釋至1L。
 
(3)膠體鈀處理工藝:采用膠體鈀活化液按下述程序進(jìn)行:
 
預(yù)浸處理→膠體鈀活化處理→水洗→解膠處理→水洗→化學(xué)鍍銅→
  
a.預(yù)浸處理-經(jīng)過粗化處理的覆銅箔板,如果經(jīng)水洗后直接浸入膠體鈀活化液中進(jìn)行活化處理,將會(huì)使活化液中的含水量不斷增加,造成膠體鈀活化液過早聚沉。因此,在活化處理前要先在含有Sn2+的酸性溶液中進(jìn)行預(yù)浸處理1~2min,取出后直接浸入膠體鈀活化液中進(jìn)行活化處理。配制時(shí)應(yīng)首先將鹽酸與水相混合,然后再加入SnCl2•2H2O ,攪拌溶解,這樣可防止SnCl2水解。 
  
酸基膠體鈀預(yù)浸液配方:
    氯化亞錫(SnCl2.2H2O)       70~100g/L
    鹽酸37%(體積)              200-300ml/L
    鹽基膠體鈀預(yù)浸液配方:
    SnCl2.2H2O              30g/L
    HCl                   30ml/l
    NaCl                   200g/l
    O
    ║
    H2N-C-NH2                 50g/l
  
b.活化處理-在室溫條件下處理3~5min,在處理過程中應(yīng)不斷移動(dòng)覆銅箔板,使活化液在孔內(nèi)流動(dòng),以便在孔壁上形成均勻的催化層。
  
c.解膠處理-活化處理后,在基材表面吸附著以鈀粒子為核心,在鈀核的周圍,具有堿式錫酸鹽的膠體化合物。在化學(xué)鍍銅前,應(yīng)將堿式錫酸鹽去除,使活性的鈀晶核充分暴露出來,從而使鈀晶核具有非常強(qiáng)而均勻的活性。經(jīng)過解膠處理再進(jìn)行化學(xué)鍍銅,不但提高了膠體鈀的活性,而且也顯著提高化學(xué)鍍銅層與基材間的結(jié)合強(qiáng)度。常用的解膠處理液是5%的氫氧化鈉水溶液或1%氟硼酸水溶液。解膠處理在室溫條件下處理1~2min,水洗后進(jìn)行化學(xué)鍍銅。
  
d.膠體銅活化液簡(jiǎn)介:
  明膠           2g/l
  CuSO4.5H2O        20g/l
  DMAB(二甲胺基硼烷)   5g/l
  水合肼          10 g/l
  鈀            20ppm
  PH            7.0
  
    配制過程:首先分別將明膠和硫酸銅用溫水(40度C)溶解后將明膠加入至硫酸銅的溶液中,用25%H2SO4將PH值調(diào)至2..5當(dāng)溫度為45度C時(shí),將溶解后DMAB在攪拌條件下緩慢加入上述的混合溶液中,并加入去離子稀釋至1升,保溫40~45度C,并攪拌至反應(yīng)開始(約5~10分鐘)溶液的顏色由藍(lán)再變成綠色。放置24小時(shí)顏色變成紅黑色后加入水合肼,再反應(yīng)有24小時(shí)后膠體溶液的PH值為7,就可投入使用。為了提高膠體銅的活性,通常再加入少量的鈀。

 

責(zé)任編輯:LY

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